主权项 |
一种反射镜双程放大软X射线激光出光靶装置,包括一个长方形的靶架固定底板(118),在该靶架固定底板(118)上的一端横向地固设有多层膜反射镜架(112),该多层膜反射镜架设置多层膜反射镜(106),在所述的靶架固定底板(118)上自另一端至所述的多层膜反射镜架(112),依次的第一出光靶(101)和第二出光靶(102)纵向成列、第三出光靶(103)和第四出光靶(104)纵向成列并通过各自的靶架和靶座纵向地列放在所述的靶架固定底板(118)上的两条平行的直线上,所述的第一出光靶(101)和第二出光靶(102)的靶面与所述的第三出光靶(103)和第四出光靶(104)的靶面相向并处于同一高度,所述的靶架固定底板(118)通过燕尾形连杆(119)固定在调节平台(120)上,其特征是:在所述的第四出光靶(104)和所述的多层膜反射镜架(112)之间还设有辅助靶(105),该辅助靶(105)通过辅助靶架(111)和辅助靶座(117)设置在所述的靶架固定底板(118)上,所述的辅助靶(105)的主轴与所述的第一出光靶(101)、第二出光靶(102)、第三出光靶(103)和第四出光靶(104)的主轴所在的平面夹角(304)为45°~90°,所述辅助靶(105)的上端高于所述的多层膜反射镜支架(112)的上边缘。 |