一种用于接受工件的平台以及在这种平台上加工工件的方法

摘要

本发明涉及一种用于加工工件的设备，特别是大致平坦的基底，包括用于支撑工件(5)的平台(2)，在工件(5)和平台(2)的顶面(17.1，17.2)之间区域中平台(2)的顶面(17.1，17.2)上产生气流(22)的流动生成装置(6，11)，工件(5)在加工过程中支撑在该气流上。

主权项

一种具有平支撑表面的平台(2)，用于支撑工件(5)，其中支撑表面包括至少两个沿长度方向对齐且由沿横向于长度方向的方向延伸的缝隙(16)隔开的表面部件，用于供给压缩气体以在各表面部件和工件(5)的底面之间产生气垫的外流孔(15)分布在该表面部件上，所述平台(2)具有用于工件(5)的给进装置和用于加工工件(5)的加工设备，给进装置移动工件越过缝隙(16)，其特征在于，该设备布置在缝隙(16)的下面，且给进装置具有线性导轨，线性导轨沿长度方向横过缝隙(16)，所述平台(2)还有一个用于工件的容器以及一个沿线性导轨移动该容器的驱动装置。