| 发明名称 | 一种基板铜面的化学清洗方法 | ||
| 摘要 | 本发明属于基板加工技术领域，具体公开了一种基板铜面的化学清洗方法。它包括除油步骤、第一次溢流水洗步骤、微蚀步骤、第二次溢流水洗步骤、以及烘干步骤，在所述第一次溢流水洗步骤和微蚀步骤之间增加一除水步骤，在所述微蚀步骤的微蚀过程中不断回收硫酸铜，并根据微蚀液中各种成分的浓度变化补充微蚀液。本发明通过在微蚀之前除水、不断回收硫酸铜、以及补充微蚀液，从而使得微蚀液使用寿命可长达6个月，而且通过硫酸铜的回收，大大降低了生产成本。 | ||
| 申请公布号 | CN102510669A | 申请公布日期 | 2012.06.20 |
| 申请号 | CN201110353549.5 | 申请日期 | 2011.11.09 |
| 申请人 | 金悦通电子（翁源）有限公司 | 发明人 | 罗建军 |
| 分类号 | H05K3/00(2006.01)I;H05K3/26(2006.01)I;C23F1/46(2006.01)I | 主分类号 | H05K3/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州新诺专利商标事务所有限公司 44100 | 代理人 | 华辉 |
| 主权项 | 一种基板铜面的化学清洗方法，包括除油步骤、第一次溢流水洗步骤、微蚀步骤、第二次溢流水洗步骤、以及烘干步骤，其特征在于：在所述第一次溢流水洗步骤和微蚀步骤之间增加一除水步骤；在所述微蚀步骤的微蚀过程中不断回收硫酸铜，并根据微蚀液中各种成分的浓度变化补充微蚀液。 | ||
| 地址 | 512627 广东省韶关市翁源官渡经济开发试验区翁城工业园 | ||