| 发明名称 | 立式炉体装配辅助装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种立式炉体装配辅助装置，涉及半导体工艺设备中炉体的立式装配技术领域，包括：支撑固定块(1)、间隙调节块(2)，其中，所述支撑固定块(1)的上表面上设有滑槽(3)；所述间隙调节块(2)，设于所述滑槽(3)内，用于调节所述支撑固定块(1)的上表面与炉体底部的间隙。本发明能够在对立式炉体进行装配时，对炉体进行支撑、对炉体外壁进行定位，可使炉体在装配过程中的稳固程度得到加强，同时为炉体外壁的装配带来了便利，大大降低了炉体外壁的装配难度。 | ||
| 申请公布号 | CN102500977A | 申请公布日期 | 2012.06.20 |
| 申请号 | CN201110303534.8 | 申请日期 | 2011.10.09 |
| 申请人 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 发明人 | 孙少东;赵燕平;董金卫;钟华;赵星梅 |
| 分类号 | B23K37/04(2006.01)I | 主分类号 | B23K37/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人 | 王莹 |
| 主权项 | 一种立式炉体装配辅助装置，其特征在于，包括：支撑固定块(1)、间隙调节块(2)，其中，所述支撑固定块(1)的上表面上设有滑槽(3)；所述间隙调节块(2)，设于所述滑槽(3)内，用于调节所述支撑固定块(1)的上表面与炉体底部的间隙。 | ||
| 地址 | 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2号楼2层 | ||