一种利用激光跟踪仪测量非球面顶点曲率半径的方法

摘要

一种利用激光跟踪仪测量非球面顶点曲率半径的方法，属于光学测试技术领域，使用激光跟踪仪按照特定方式获取非球面坐标点，通过数据处理及优化搜索算法得到非球面顶点曲率半径。本发明提出了非球面顶点曲率半径测量的新方法，适用于非球面在制造加工过程之中顶点曲率半径的在位测量，尤其对大口径非球面顶点曲率的测量有重要的应用价值。

主权项

一种利用激光跟踪仪测量非球面顶点曲率半径的方法，其特征在于实现步骤如下：步骤S1，使用激光跟踪仪建立非球面测量坐标系；步骤S2，使用激光跟踪仪采集非球面坐标点；步骤S3，使用激光跟踪仪采集所得非球面坐标点粗建非球面坐标系，对非球面坐标点进行坐标变换；步骤S4，设定顶点曲率半径取值范围及步长，分别以取值范围内顶点曲率半径值为参数，对非球面坐标点进行靶球半径补偿；步骤S5，对每一组补偿后非球面坐标点按照与半径补偿对应的顶点曲率半径值进行非球面拟合，精建非球面坐标系并进行坐标转换，计算每组坐标转换后的坐标点与对应的非球面拟合方程的均方根偏差，最小均方根偏差值所对应的顶点曲率半径值为所求非球面顶点曲率半径。