| 发明名称 | 处理室中工艺终点的检测 | ||
| 摘要 | 本发明涉及处理室中工艺终点的检测。本发明公开了用于确定在室中进行的清洗工艺的终点的方法和装置。具体地，本发明的实施例是包括如下步骤的方法：(a)将清洗工艺的副产物吸收的辐射导入所述室的抽出管道内；(b)检测副产物对所述辐射的吸收率的测量值；以及(c)当所述吸收率测量值落在预定窗口内时确定所述终点。 | ||
| 申请公布号 | CN101645387B | 申请公布日期 | 2012.06.20 |
| 申请号 | CN200910168285.9 | 申请日期 | 2002.11.19 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 拉克斯曼·穆鲁盖什;加里·R·阿尔 |
| 分类号 | H01J37/32(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人 | 肖善强;南霆 |
| 主权项 | 一种确定在室中进行的清洗工艺的终点的方法，包括如下步骤：将具有与所述清洗工艺的副产物的吸收波段重叠的波长的辐射导入所述室的抽出管道内；检测所述副产物对所述辐射的吸收率的测量值；检测背景辐射的测量值；以及当所述吸收率测量值减去所述背景辐射的测量值后落在一窗口内时即确定所述终点。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||