搬送机夹具硅片固定装置

摘要

本实用新型公开了一种搬送机夹具硅片固定装置，所述每个夹具包括两根夹臂，所述固定装置包括一硅片固定压杆、分别安装在夹臂上的两硅片压杆固定块，所述硅片压杆固定块上凹设有一个弧形导向槽，两弧形导向槽对称分布，所述硅片固定压杆的一端位于一硅片压杆固定块的弧形导向槽中，另一端位于相对的硅片压杆固定块的弧形导向槽中。本实用新型通过在搬送机夹具上安装硅片压杆固定块和硅片固定压杆，在固定压杆自身重力的作用下，固定晶舟上的硅片，阻止硅片偏离原有位置，有效避免了硅片晃出晶舟发生漂片和倒片的现象。

主权项

一种搬送机夹具硅片固定装置，所述每个夹具包括两根夹臂(1)，其特征在于：所述固定装置包括一硅片固定压杆(4)、分别安装在夹臂(1)上的两硅片压杆固定块(2)，所述硅片压杆固定块(2)上凹设有一个弧形导向槽(3)，两弧形导向槽(3)对称分布，所述硅片固定压杆(4)的一端位于一硅片压杆固定块(2)的弧形导向槽(3)中，另一端位于相对的硅片压杆固定块(2)的弧形导向槽(3)中。