发明名称 |
柔性键合铜丝及其制备方法 |
摘要 |
本发明是一种柔性键合铜丝及其制备方法,由以下组分组成:Ce 0.001%-0.005%,Pd 0.003%-0.005%,Pt 0.005%-0.009%,余量为Cu。通过采取多元掺杂合金,加入其他成分,降低铜的硬度,特别是成球硬度,减少对芯片的冲击力和破坏,降低键合能量,阻止了界面氧化物和裂纹的产生,保持其结合性能的稳定,从而提高了结合性能、导电性和抗氧化性;并通过控制熔铸、加工、热处理条件,进一步优化组织结构,保证得到合适的机械性能,能够满足不同的需要。 |
申请公布号 |
CN101626006B |
申请公布日期 |
2012.06.20 |
申请号 |
CN200910017010.5 |
申请日期 |
2009.07.09 |
申请人 |
烟台一诺电子材料有限公司 |
发明人 |
林良 |
分类号 |
H01L23/49(2006.01)I;H01L21/48(2006.01)I;C22C9/00(2006.01)I;C22C1/02(2006.01)I;B22D11/00(2006.01)I;C22F1/08(2006.01)I;C21D1/26(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/49(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种柔性键合铜丝,其特征在于由以下组分组成:Ce 0.003%,Pd 0.004%,Pt 0.007%,余量为Cu。 |
地址 |
264006 山东省烟台市烟台开发区珠江路32号 |