发明名称 柔性键合铜丝及其制备方法
摘要 本发明是一种柔性键合铜丝及其制备方法,由以下组分组成:Ce 0.001%-0.005%,Pd 0.003%-0.005%,Pt 0.005%-0.009%,余量为Cu。通过采取多元掺杂合金,加入其他成分,降低铜的硬度,特别是成球硬度,减少对芯片的冲击力和破坏,降低键合能量,阻止了界面氧化物和裂纹的产生,保持其结合性能的稳定,从而提高了结合性能、导电性和抗氧化性;并通过控制熔铸、加工、热处理条件,进一步优化组织结构,保证得到合适的机械性能,能够满足不同的需要。
申请公布号 CN101626006B 申请公布日期 2012.06.20
申请号 CN200910017010.5 申请日期 2009.07.09
申请人 烟台一诺电子材料有限公司 发明人 林良
分类号 H01L23/49(2006.01)I;H01L21/48(2006.01)I;C22C9/00(2006.01)I;C22C1/02(2006.01)I;B22D11/00(2006.01)I;C22F1/08(2006.01)I;C21D1/26(2006.01)I 主分类号 H01L23/49(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种柔性键合铜丝,其特征在于由以下组分组成:Ce 0.003%,Pd 0.004%,Pt 0.007%,余量为Cu。
地址 264006 山东省烟台市烟台开发区珠江路32号