用离心机从背面研磨过程产生的废料浆中收集硅粉的方法及该离心机

摘要

提供了一种用离心机从在背面研磨过程中产生的废料浆中收集硅粉的方法，以及该离心机。通过使用具有均为水平安装的筒体和螺杆轴的离心机从在背面研磨过程中产生的废料浆中收集硅粉的方法包括：在离心机的筒体的内表面上收集硅粉的收集步骤(S1)，在收集步骤(S1)中，在为在筒体的内表面上收集硅粉而预定的时间内，供给废料浆，同时停止螺杆轴并以高速旋转筒体，以使得从废料浆中分离硅粉和流体，在筒体的内表面上收集所分离的硅粉并且将所述流体排出至流体出口；以及将在筒体的内表面上所收集的硅粉排出的排出步骤(S2)，在所述排出步骤(S2)中，在为将在所述收集步骤(S1)中在筒体的内表面上收集的硅粉排出而预定的时间内，停止供给废料浆，以减小的速度旋转筒体以将所收集的硅粉保持在筒体的内表面上，并且，旋转在所述收集步骤(S1)中停止的所述螺杆轴，以将在筒体的内表面上收集的硅粉排出。

主权项

一种用离心机从在背面研磨过程中产生的废料浆中收集硅粉的方法，其中所述离心机中水平安装有圆柱形筒体，所述筒体内侧水平安装有螺杆轴，并且所述筒体和所述螺杆轴的驱动和旋转被分别控制，所述方法包括：在离心机的筒体的内表面上收集硅粉的收集步骤(S1)，在所述收集步骤(S1)中，在为了在筒体的内表面上收集硅粉而预定的收集时间(Δt1)内，供给废料浆，同时停止螺杆轴并以高速旋转筒体，以使得从废料浆中分离硅粉和流体，在筒体的内表面上收集所分离的硅粉并且将所述流体排出至流体出口；以及将在离心机的筒体的内表面上所收集的硅粉排出的排出步骤(S2)，在所述排出步骤(S2)中，在为将在所述收集步骤(S1)中在筒体的内表面上收集的硅粉排出而预定的排出时间(Δt2)内，停止供给废料浆，以减小的速度旋转筒体以将所收集的硅粉保持在筒体的内表面上，并且旋转在所述收集步骤(S1)中停止的所述螺杆轴，以将在筒体的内表面上收集的硅粉排出。