发明名称 光学微腔生化传感器
摘要 一种光学微腔传感器,包括:一第一3dB光分束器和一第二3dB光分束器;一传感微腔,该传感微腔的一侧与第一3dB光分束器的端口1耦合,该传感微腔的另一侧与第二3dB光分束器的端口1耦合;一参考微腔,该参考微腔的一侧与第一3dB光分束器的端口2耦合,该参考微腔的另一侧与第二3dB光分束器的端口2耦合;一样品槽,该样品槽用于容置传感微腔;一参考槽,该参考槽用于容置参考微腔;其中传感微腔与参考微腔的自由频谱宽不同,入射光由第一3dB光分束器输入,经分束后分别与传感微腔和参考微腔相耦合;耦合进入传感微腔和参考微腔的光分别耦合进入第二3dB光分束器的端口1和端口2,两束光经第二3dB光分束器干涉后作为传感信号输出。
申请公布号 CN102506911A 申请公布日期 2012.06.20
申请号 CN201110289307.4 申请日期 2011.09.27
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 张晓光;吴远大;王玥;张家顺;安俊明;王红杰;李建光;胡雄伟
分类号 G01D5/26(2006.01)I;G01N21/41(2006.01)I 主分类号 G01D5/26(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 汤保平
主权项 一种光学微腔传感器,包括:一第一3dB光分束器和一第二3dB光分束器;一传感微腔,该传感微腔的一侧与第一3dB光分束器的端口1耦合,该传感微腔的另一侧与第二3dB光分束器的端口1耦合;一参考微腔,该参考微腔的一侧与第一3dB光分束器的端口2耦合,该参考微腔的另一侧与第二3dB光分束器的端口2耦合;一样品槽,该样品槽用于容置传感微腔;一参考槽,该参考槽用于容置参考微腔;其中传感微腔与参考微腔的自由频谱宽不同,入射光由第一3dB光分束器输入,经分束后分别与传感微腔和参考微腔相耦合;耦合进入传感微腔和参考微腔的光分别耦合进入第二3dB光分束器的端口1和端口2,两束光经第二3dB光分束器干涉后作为传感信号输出。
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