一种微波器件陶瓷基板材料及其制备方法

摘要

一种微波器件陶瓷基板材料及其制备方法，属于电子材料技术领域。微波器件陶瓷基板材料包含主晶相和改性添加剂；主晶相化学通式为Mg1+xCoyTiO3+x+y，其中0.01＜x＜0.05、0.001＜y＜0.01；改性添加剂为CeO2、Nb2O5、Nd2O3、ZnO、MnCO3、SiO2中的一种或几种，其质量占整个微波器件陶瓷基板材料总质量的0.0～4.0％。其制备方法包括配料、球磨、造粒、成型、烧结过程。所述微波器件陶瓷基板材料具有较高Q×f值(80000～10000)，中等介电常数(17～20)和系列化的介电常数温度系数(0～110)，适用于制作微波器件的基板材料，能够满足微波器件(尤其是微带滤波器)制作要求。所述制备方法具有简单、易控、环保和成本低廉的特点。

主权项

一种微波器件陶瓷基板材料，包含主晶相和改性添加剂；所述主晶相化学通式为Mg1+xCoyTiO3+x+y，其中0.01＜x＜0.05、0.001＜y＜0.01；所述改性添加剂为CeO2、Nb2O5、Nd2O3、ZnO、MnCO3、SiO2中的一种或几种，其质量占整个微波器件陶瓷基板材料总质量的0.0～4.0％。