基于等离子发射光谱法的在线微量氮气检测器

摘要

本发明涉及气体分析检测设备技术领域，具体涉及一种微量氮气检测器，能对氩气中微量地含有的杂质氮气的浓度能够高精度且连续地进行测定。本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：基于等离子发射光谱法的在线微量氮气检测器，包括电离气室，包括腔体和设置于腔体上的电离电极，所述腔体上设置有入气口和出气口，所述腔体用于容纳被测气体，腔体的至少部分透明；激发单元，与电离电极电连接，向电离电极施加高频调幅振荡电场；接收器单元，与电离气室透明的部分相对设置，用于接收电离气体中被测气体在电离状态下发出的光信号并转换为电信号；以及滤光器件，设置于接收器单元与电离气室之间，用于选择透过光信号中与氮气对应的特定波长的光。

主权项

基于等离子发射光谱法的在线微量氮气检测器，其特征在于：包括电离气室，包括腔体和设置于腔体上的电离电极，所述腔体上设置有入气口和出气口，所述腔体用于容纳被测气体，腔体的至少部分透明；激发单元，与电离电极电连接，向电离电极施加高频调幅振荡电场；接收器单元，与电离气室透明的部分相对设置，用于接收电离气体中被测气体在电离状态下发出的光信号并转换为电信号；以及滤光器件，设置于接收器单元与电离气室之间，用于选择透过光信号中与氮气对应的特定波长的光。