| 发明名称 | 线宽和线粗糙度的量测方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种线宽和线粗糙度的量测方法，包括以下步骤：选取需量测的线条图形；对应于若干纵坐标，在线条图形的两侧边上分别采集相应的横坐标；对线条图形两侧边上每一组相应于同一纵坐标的横坐标求差值，然后对求得的各差值取平均值得到线条图形的线宽；将线条图形每侧的横坐标的最大值减去最小值以获得一偏差值，然后再取两侧偏差值的平均值，得到线条图形的粗糙度。本发明在生产中通过一次量测同时对线宽和线边缘粗糙度实现监测，减少设备量测时间，从而提高量测设备的使用率，进而提高生产效率。 | ||
| 申请公布号 | CN102508412A | 申请公布日期 | 2012.06.20 |
| 申请号 | CN201110328073.X | 申请日期 | 2011.10.25 |
| 申请人 | 上海华力微电子有限公司 | 发明人 | 毛智彪;夏婷婷;戴韫青;王剑 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G01B21/30(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 陆花 |
| 主权项 | 一种线宽和线粗糙度的量测方法，其特征在于，包括以下步骤：选取需量测的线条图形；对应于若干纵坐标，在线条图形的两侧边上分别采集相应的横坐标；对线条图形两侧边上每一组相应于同一纵坐标的横坐标求差值，然后对求得的各差值取平均值得到线条图形的线宽；将线条图形每侧的横坐标的最大值减去最小值以获得一偏差值，然后再取两侧偏差值的平均值，得到线条图形的粗糙度。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路497号 | ||