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发明名称
Method for manufacturing an acoustic resonator with FBAR body waves
摘要
申请公布号
EP2330737(B1)
申请公布日期
2012.06.20
申请号
EP20100193600
申请日期
2010.12.03
申请人
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES
发明人
PIJOLAT, MATHIEU
分类号
H03H3/02
主分类号
H03H3/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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