发明名称 |
改变包含金刚石材料的衬底的方法及制造电气器件的方法 |
摘要 |
公开了一种改变包含金刚石材料的衬底的方法及制造电气器件的方法。所述改变包含金刚石材料的衬底的方法包括:在衬底的金刚石材料的至少预定区域上沉积至少一种催化材料,使得与催化材料的至少一部分接触的金刚石材料的至少一部分转化为非金刚石型碳,以及使得催化材料的至少一部分渗入衬底。 |
申请公布号 |
CN101467260B |
申请公布日期 |
2012.06.20 |
申请号 |
CN200780021758.1 |
申请日期 |
2007.05.16 |
申请人 |
艾文斯技术有限公司 |
发明人 |
格丽斯·安德鲁·泰勒 |
分类号 |
H01L29/16(2006.01)I;H01L29/861(2006.01)I;H01L29/417(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/16(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
陈炜;郎晓虹 |
主权项 |
一种改变包含至少一层金刚石材料的衬底的方法,所述方法包括:在所述衬底的金刚石材料的至少预定区域上沉积至少一种催化金属,所述至少一种催化金属能够使与所述催化金属接触的所述金刚石材料转化为非金刚石型碳;使得与所述催化金属的至少一部分接触的所述金刚石材料的至少一部分转化为非金刚石型碳;以及使得所述催化金属的至少一部分渗入所述衬底。 |
地址 |
英国纽卡斯尔 |