一种高光学质量硒化锌的制备方法

摘要

本发明公开了属于无机块体材料制备技术领域的一种高光学质量硒化锌的制备方法。将锌放入沉积炉内，抽真空，将沉积室升温，以氩气作为反应原料气体的携带气体，通过质量流量计将H2Se气体、氩气通入沉积室中，锌与H2Se的摩尔比为0.8～1.2，沉积室内壁发生沉积反应，硒化锌开始生长；使锌与H2Se的摩尔比保持不变，炉内压力恒定，沉积15～25天，然后降至室温，得到高光学质量的硒化锌。本发明有效地解决了化学气相沉积制备硒化锌工艺中的粉末生成问题，消除了产品夹杂，材料具有高红外透过率及低吸收系数，大幅提高了光学质量。

主权项

一种高光学质量硒化锌的制备方法，采用化学气相沉积工艺，其特征在于，该方法步骤为，(1)将锌放入沉积炉内；(2)通过真空泵对沉积炉抽真空，使真空度为1×104～5×104Pa；(3)将沉积室升温至450～600℃，锌融化并蒸发后，继续升温至650～800℃，并保温；(4)以氩气作为反应原料气体H2Se的携带气体，通过质量流量计将H2Se气体按照设定值0.5～2L/min、氩气按照5～20L/min的流量通入沉积室中，锌与H2Se的摩尔比为0.8～1.2，沉积室内壁发生沉积反应，硒化锌开始生长；(5)每隔一个小时检测一次Zn的蒸发量，通过调节质量流量计使得H2Se与锌的摩尔比保持不变，随时监测沉积室的压力，通过调整真空泵的抽气速率，保持进/出沉积室气体总量不变，沉积室内压力恒定，沉积时间为15～25天，然后以0.1～0.5℃/min的降温速率降至室温，得到高光学质量的硒化锌。