发明名称 |
半导体层生长方法及半导体发光元件制造方法 |
摘要 |
本发明公开半导体层生长方法及半导体发光元件制造方法。在此公开一种生长半导体层的方法,该方法包括在六方晶体结构基板的(1-102)面上生长具有(11-20)面方位的六方晶体结构半导体层的步骤,使得至少一个面向外,该面选自(11-22)面、(0001)面、(000-1)面、(33-62)面和(1-100)面。本发明还涉及一种制造半导体发光元件的方法。 |
申请公布号 |
CN101807522B |
申请公布日期 |
2012.06.20 |
申请号 |
CN201010125298.0 |
申请日期 |
2008.05.19 |
申请人 |
索尼株式会社 |
发明人 |
大前晓;有持佑之;御友重吾;风田川统之;日野智公 |
分类号 |
H01L21/205(2006.01)I;H01L33/16(2010.01)I |
主分类号 |
H01L21/205(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
马高平 |
主权项 |
一种生长半导体层的方法,其包括在六方晶体结构基板的(1‑102)面上生长具有(11‑20)面方位的六方晶体结构半导体层的步骤,所述半导体层以(0001)面、(000‑1)面和(11‑22)面面向外生长或者以(11‑20)面、(33‑62)面和(000‑1)面面向外生长。 |
地址 |
日本东京都 |