光波导基板的制造方法

摘要

通过在单畴化的铁电体单晶基板的一个主面上所设置的梳形电极和另一个主面上所设的均匀电极之间施加电压，从而形成周期极化反转构造(9)，去除梳形电极。接着在基板(18)上形成光波导(20)。使光波导(20)的光强度中心(P1)离开梳形电极的前端位置(P0)。

主权项

一种光波导基板的制造方法，用于形成具有形成有周期极化反转构造的条形光波导(20，30)的光波导基板，其特征在于，具有：通过在单畴化的铁电体单晶基板(8)的一个主面(8a)上所设置的梳形电极(3)上施加电压，从而形成周期极化反转构造的电压施加工序；去除上述梳形电极(3)的电极去除工序；以及，在上述铁电体单晶基板(8)形成上述光波导(20，30)的光波导形成工序，其中，根据预先设置的校准标记M决定将梳形电极(3)的前端(3b)的向上述一个主面(8a)的投影位置P0，光波导(20，30)的加工位置通过加工装置所附属的显微镜测定校准标记M和作为目的的光波导的光强度中心P1的推定位置的间隔来决定，使上述光波导(20，30)的光强度中心P1的向上述一个主面(8a)的投影位置P2离开上述梳形电极(3)的前端(3b)的向上述一个主面(8a)的上述投影位置P0。