真空镀增透膜提高灯具玻璃的光通量的方法

摘要

本发明提供了一种真空镀增透膜提高灯具玻璃的光通量的方法，包括以下步骤：先提供工件玻璃或塑料，再将工件玻璃或塑料进行前处理，以使工件玻璃或塑料的表面清洁；然后将经前处理的工件玻璃或塑料装载在工件架上，由传动系统将工件架导入真空室；在真空室内预先设有靶材，靶材的材质为Nb、Si或者为Ti、Si，然后向真空室内通入Ar和O2的混合气体；给靶材通电，使Ar和O2的混合气体电离，Nb、Si或者为Ti、Si，和O2电离后的氧原子结合形成Nb2O5、SiO2或者TiO2、SiO2，并沉积在工件玻璃或塑料的表面；其有益效果在于：将LED灯罩盖板的玻璃或塑料的透光率由89％提高到98％，减少了灯罩盖板的反射光和吸收光，灯罩发热少，光照照度提高，起到了节能的作用。

主权项

一种真空镀增透膜提高灯具玻璃的光通量的方法，其特征在于包括以下步骤：(1)提供工件玻璃或塑料；(2)将工件玻璃或塑料进行前处理，以使工件玻璃或塑料的表面清洁；(3)将经前处理的工件玻璃或塑料装载在工件架上，由传动系统将工件架导入真空室；(4)在真空室内预先设有靶材，靶材的材质为Nb、Si或者为Ti、Si，然后向真空室内通入Ar和O2的混合气体，使真空室的真空度达到10‑1Pa；(5)给靶材通电，使Ar和O2的混合气体电离，电离后的粒子轰击靶材，使靶材Nb、Si或者Ti、Si以原子形式逸出，Nb、Si或者Ti、Si原子向下沉积的过程中和O2电离后的氧原子结合形成Nb2O5、SiO2或者TiO2、SiO2，并沉积在工件玻璃或塑料的表面；(6)控制真空室内传动系统的运动速度，在工件玻璃或塑料表面先沉积8‑12nm的Nb2O5或者SiO2，然后在Nb2O5或者SiO2上再沉积100‑120nm的SiO2，使工件玻璃或塑料的透光率从89％提高到94％；(7)取出工件玻璃或塑料，再进行前处理，以使工件玻璃或塑料的表面清洁；(8)将经前处理的工件玻璃或塑料非膜面朝上装载在工件架上，由传动系统将工件架导入真空室；(9)重复步骤(4)、(5)、(6)，使工件玻璃或塑料双面镀膜，将单面增透膜的透光率由94％提高到98％。