放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜和微透镜、以及它们的制备方法

摘要

一种放射线敏感性树脂组合物，其含有：下述共聚物、和1，2-二叠氮醌化合物，所述共聚物是不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐、含有环氧基或氧杂环丁烷基的至少一个的不饱和化合物、(甲基)丙烯酰基吗啉和其他不饱和化合物的共聚物。本发明提供放射线敏感性树脂组合物，其具有高放射线敏感度，具有在显影工序中即使超过最佳显影时间仍可以形成良好的图案形状的显影余量，可以容易地形成贴合性优异的图案状薄膜。

主权项

一种放射线敏感性树脂组合物，其特征在于，含有：a1、a2、a3和a4的共聚物A，以及1，2‑二叠氮醌化合物B，所述a1：选自不饱和一元羧酸、不饱和二羧酸、不饱和二羧酸的酸酐和多元羧酸的单[(甲基)丙烯酰氧基烷基]酯的至少一种，所述a2：含有环氧基和氧杂环丁烷基的至少任意一个的不饱和化合物，其选自丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、α‑乙基丙烯酸缩水甘油酯、α‑正丙基丙烯酸缩水甘油酯、α‑正丁基丙烯酸缩水甘油酯、丙烯酸3，4‑环氧丁酯、甲基丙烯酸3，4‑环氧丁酯、丙烯酸6，7‑环氧庚酯、甲基丙烯酸6，7‑环氧庚酯、α‑乙基丙烯酸6，7‑环氧庚酯、邻乙烯基苄基缩水甘油基醚、间乙烯基苄基缩水甘油基醚、对乙烯基苄基缩水甘油基醚、3‑(甲基丙烯酰氧基甲基)氧杂环丁烷、3‑(甲基丙烯酰氧基甲基)‑3‑乙基氧杂环丁烷、3‑(甲基丙烯酰氧基甲基)‑2‑甲基氧杂环丁烷、3‑(甲基丙烯酰氧基甲基)‑2‑三氟甲基氧杂环丁烷、3‑(甲基丙烯酰氧基甲基)‑2‑五氟乙基氧杂环丁烷、3‑(甲基丙烯酰氧基甲基)‑2‑苯基氧杂环丁烷、3‑(甲基丙烯酰氧基甲基)‑2，2‑二氟氧杂环丁烷、3‑(甲基丙烯酰氧基甲基)‑2，2，4‑三氟氧杂环丁烷、3‑(甲基丙烯酰氧基甲基)‑2，2，4，4‑四氟氧杂环丁烷、3‑(甲基丙烯酰氧基乙基)氧杂环丁烷、3‑(甲基丙烯酰氧基乙基)‑3‑乙基氧杂环丁烷、2‑乙基‑3‑(甲基丙烯酰氧基乙基)氧杂环丁烷、3‑(甲基丙烯酰氧基乙基)‑2‑三氟甲基氧杂环丁烷、3‑(甲基丙烯酰氧基乙基)‑2‑五氟乙基氧杂环丁烷、3‑(甲基丙烯酰氧基乙基)‑2‑苯基氧杂环丁烷、2，2‑二氟‑3‑(甲基丙烯酰氧基乙基)氧杂环丁烷、3‑(甲基丙烯酰氧基乙基)‑2，2，4‑三氟氧杂环丁烷和3‑(甲基丙烯酰氧基乙基)‑2，2，4，4‑四氟氧杂环丁烷的至少一种，所述a3：选自丙烯酰基吗啉和甲基丙烯酰基吗啉的至少一种，所述a4：与上述a1、a2和a3的任意一个都不同且选自甲基丙烯酸烷基酯、马来酰亚胺化合物、不饱和芳香族化合物和具有四氢呋喃骨架的不饱和化合物的至少一种不饱和化合物，基于由a1、a2、a3和a4衍生的结构单元的合计，所述共聚物A含有由a1衍生的结构单元1～80重量％，由a2衍生的结构单元5～70重量％，由a3衍生的结构单元1～50重量％，由a4衍生的结构单元10～80重量％，所述共聚物A的聚苯乙烯换算重均分子量Mw为2×103～1×105，分子量分布Mw/Mn为5.0以下。