根据共焦显微术的基本原理的测量设备以及方法

摘要

一种用于共焦测量对象的测量设备包括：光源(1)、成像光学系统(4)和图像检测器(10)。布置装置(11)，用于改变光阑装置(3)与对象(6)之间的光路中的光学路径长度，其中能以预定的方式改变像平面的光学距离；以及设置有装置，以便使由所述光源(1)发射到所述对象(6)上的光(5)和/或由所述对象(6)反射的且射到所述传感器(10)上的光(7)在曝光的曝光周期(tB1)期间在至少一个特性(强度、频率、光谱)方面受到影响，其中，在所述曝光周期(TB1)期间给出被预定为简档的、光(5，7)的特性与像平面距所述成像光学系统(4)的光学距离之间的关系；并且设置有装置，该装置为曝光周期(tB1)提供与观察光路(7)的光特性相关的测量值，其中根据曝光周期(tB1)的测量值和比较值能重建对象(6)的高度坐标(zs)。

主权项

一种用于共焦测量对象(6)的测量设备(27)，其包括：光源(1)、用于将由所述光源(1)发射的光(5)聚焦到要测量的对象(6)上的成像光学系统(4)，此外还包括针对在所述对象(6)上散射回且穿过同样的成像光学系统(4)的、目标点(6′)的光(7)的图像检测器(10)，其特征在于，‑布置有用于改变一光阑装置(3)与所述对象(6)之间的光路中的光学路径长度的第一装置(11)，其中，能以预定的方式改变像平面的光学距离，以及‑设置有用于影响光特性的第二装置(12，13)，以便在第一曝光的曝光周期(tB1)期间使由所述光源发射到所述对象(6)上的光(5)和/或由所述对象(6)反射且射到所述图像检测器(10)上的光(7)在至少一个特性方面受到影响，其中，在所述曝光周期(tB1)期间给出被预定为简档的、由所述光源发射到所述对象(6)上的光(5)和/或由所述对象(6)反射且射到所述图像检测器(10)上的光(7)的特性与光学距离之间的相互关系，该光学距离是像平面距所述成像光学系统(4)的光学距离，以及‑设置有所述图像检测器(10)，所述图像检测器(10)针对曝光周期(tB1)提供与观察光路的光的特性相关的测量值，其中，根据曝光周期(tB1)的测量值和比较值能重建对象(6)的高度坐标(zs)，其中根据具有第二曝光时间(tB2)和针对所述由所述光源发射到所述对象(6)上的光(5)和/或由所述对象(6)反射且射到所述图像检测器(10)上的光(7)的特性与所述光学距离的第二简档的第二曝光来确定所述比较值。