发明名称 |
双向触发二极管刀刮玻璃钝化工艺 |
摘要 |
本发明公开了一种双向触发二极管刀刮玻璃钝化工艺,包括以下工艺步骤:将扩散出NPN型的硅片做好光刻图形,放入混酸腐蚀液中进行腐蚀出各芯片的NPN型台面沟槽,配制玻璃浆用溶剂、配制玻璃浆,将搅拌好的玻璃浆涂敷到硅片表面和沟槽内,放入石英舟内,将其放入至石英管中预烧和烧成,重复步骤操作后,将制得的硅片经合金化后进行划片,制成所需的双向触发器件的芯片,工艺步骤简单,采用上述工艺使得双向触发二极管刀刮玻璃的钝化效果好,效率大大提高,而成本较之现有技术工艺成本则大大降低。 |
申请公布号 |
CN102129987B |
申请公布日期 |
2012.06.20 |
申请号 |
CN201010614295.3 |
申请日期 |
2010.12.30 |
申请人 |
常州星海电子有限公司 |
发明人 |
朱元波 |
分类号 |
H01L21/329(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/329(2006.01)I |
代理机构 |
常州市维益专利事务所 32211 |
代理人 |
何学成 |
主权项 |
双向触发二极管刀刮玻璃钝化工艺,其特征在于,包括以下工艺步骤:(1)、将扩散出NPN型的硅片根据所需芯片的尺寸规格进行双面涂胶、前烘、曝光、显影及坚膜的光刻过程,做好光刻图形;(2)、将上述步骤中得到的硅片放入混酸腐蚀液中进行腐蚀,腐蚀出各芯片的NPN型台面沟槽,保持各芯片间连接而不断离,再进行去胶清洗;(3)、配制玻璃浆用溶剂:将乙基纤维素和丙酮稀释剂的投料为:1g∶5ml~1g∶20ml,将配置好的混合液放在烧杯中加热搅拌溶解,制得所需的玻璃浆用溶剂;(4)、配制玻璃浆:将步骤(3)中制得的玻璃浆用溶剂和铅系玻璃粉按3ml∶5g比例倒入茄形瓶中进行搅拌,制得所需的玻璃浆;(5)、将搅拌好的玻璃浆涂敷到制得的硅片表面和沟槽内,去除多余的玻璃浆,随后将此硅片放入石英舟内;(6)、将步骤(5)中得到的盛放在石英舟内的硅片放入至石英管中预烧,控制预烧温度到575~585℃范围内,设定时间为20min;(7)、将步骤(6)中预烧后的硅片的表面擦拭干净,将其烧成,控制烧成温度为850℃,设定时间为20min;(8)、重复步骤(5)~(7);(9)、将步骤(8)制得的硅片经合金化后进行划片,制成所需的双向触发器件的芯片;上述步骤(2)中所述的混酸腐蚀液,由硝酸、氢氟酸和乙酸组成,所述的硝酸、氢氟酸和乙酸按重量比计为:硝酸:32~50%,氢氟酸:12~28%,乙酸:10~22%。 |
地址 |
213022 江苏省常州市新北区天目湖1号 |