具有形成图案的包层的平面波导及其生产方法

摘要

一种具有形成图案的包层(60)的集成光波导，该形成图案的包层(60)限定了一开口，使得光传输元件(13)的至少一侧或至少一端(32)是空气包层的。该空气包层的区域优选为与波导(30)成为一个整体的透镜结构或位于波导内的弯曲处。一种制造具有形成图案的包层的光波导的方法，其包括：在部分衬底上形成遮挡层，其中，该遮挡层形成图案且对预定的波长不透明，该衬底对该波长透明；从上方使该芯层形成图案以提供光传输元件；在该光传输元件上和/或在该形成图案的遮挡层上和/或在该衬底的未覆盖部分上沉积上包层，该上包层包含能通过曝光于该波长的光来固化的材料；用该波长的光从下方照射所述上包层，以使所述上包层中那些没有位于所述形成图案的遮挡层上方的部分固化；以及将所述上包层的未固化部分移除。

主权项

一种用于生产集成光波导的方法，其中，上述集成光波导具有形成图案的上包层，该方法包括以下步骤：a)在衬底上沉积芯层；b)使所述芯层形成图案以提供光传输元件，其中，所述光传输元件包含具有弯曲的波导；c)在所述光传输元件上沉积上包层，其中，所述上包层包含聚合物材料；d)使所述上包层形成图案以提供至少一个区域，且在上述区域中所述光传输元件是空气包层的；且其中，所述波导在所述弯曲的区域内具有空气包层的表面。