面内位移和离面位移同时测量的激光散斑测量装置

摘要

一种面内位移和离面位移同时测量的激光散斑测量装置。主要由连续波激光器、准直扩束器、偏振分束器Ⅰ、偏振分束器Ⅱ、偏振分束器Ⅲ、偏振分束器Ⅳ、反射镜Ⅰ、反射镜Ⅱ、反射镜Ⅲ、会聚透镜、CCD相机Ⅰ、CCD相机Ⅱ和计算机构成，本实用新型能一次布置光路，同时实现被测物体形变的面内位移和离面位移分布信息的测量，测量精度能达到亚波长量级；并且具有简单易行、快速、准确的特点。可广泛应用于光电无损检测等领域的微小位移的实时、高精度可靠测量。

主权项

面内位移和离面位移同时测量的激光散斑测量装置，其特征在于：设有连续波激光器（100），在该连续波激光器（100）的光束前进方向依次设有准直扩束器（110）、偏振分束器Ⅰ（121）；经偏振分束器Ⅰ（121）后，激光束分为透射光Ⅰ和反射光Ⅰ，反射光Ⅰ与透射光Ⅰ成90°夹角，反射光Ⅰ作为物光束Ⅰ直接照射在被测物体（200）上；透射光Ⅰ前进后照射在偏振分束器Ⅱ（122）上，透射光Ⅰ又被分为透射光Ⅱ和反射光Ⅱ；透射光Ⅱ前进后照射在反射镜Ⅰ（131）上，偏折90°后照射在反射镜Ⅱ（132）上，然后，再偏折90°后作为物光束Ⅱ照射在被测物体（200）上；反射光Ⅱ照射在反射镜Ⅲ（133）上，被反射后垂直照射在偏振分束器Ⅳ（124）上，经偏振分束器Ⅳ（124）后分为透射光Ⅴ和反射光Ⅴ，反射光Ⅴ作为参考光；所述的物光束Ⅰ和物光束Ⅱ以相同的入射角对称照射在被测物体（200）上；所述的照射在被测物体（200）上的物光束Ⅰ和物光束Ⅱ经被测物体散射后，散射光照射在会聚透镜（140）上，会聚后又照射在偏振分束器Ⅲ（123）上，散射光经偏振分束器Ⅲ（123）后分为透射光Ⅲ和反射光Ⅲ，反射光Ⅲ作为成像光束Ⅰ，进入CCD相机Ⅰ（151）成像，然后存储进计算机（300）；透射光Ⅲ照射在偏振分束器Ⅳ（124）上，经偏振分束器Ⅳ（124）后分为透射光Ⅳ和反射光Ⅳ；透射光Ⅳ和参考光一起进入CCD相机Ⅱ（152）成像，然后存储进计算机（300）。