| 发明名称 |
DEVICE AND TREATMENT CHAMBER FOR THERMALLY TREATING SUBSTRATES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2464938(A1) |
申请公布日期 |
2012.06.20 |
| 申请号 |
EP20100749600 |
申请日期 |
2010.08.12 |
| 申请人 |
LEYBOLD OPTICS GMBH |
发明人 |
NOVAK, EMMERICH;TRUBE, JUTTA |
| 分类号 |
F27B9/30;C03B27/044;C03B29/08 |
主分类号 |
F27B9/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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