摘要 |
1. Установка для получения порошкообразного нитрида алюминия высокой чистоты газофазным способом, состоящая из цилиндрической реакционной камеры, выполненной из жаропрочной стали и покрытой футеровочным материалом, расположенной на стальной пространственной раме и герметично соединенной с устройствами подачи азотсодержащих газов, подачи исходной шихты и выгрузки готового продукта, снабжена устройством нагрева, системами водного охлаждения, фильтрации и герметизации, отличающаяся тем, что цилиндрическая реакционная камера выполнена с возможностью вращения вокруг горизонтальной оси, футерована нитридом алюминия, расположена горизонтально на стальной пространственной раме, оснащена устройством для изменения угла наклона горизонтальной цилиндрической реакционной камеры, устройством нагрева в виде графитового нагревателя, создающего необходимый градиент температур вдоль горизонтальной цилиндрической реакционной камеры, установка снабжена системой очистки получаемого продукта от микропримесей. ! 2. Установка по п.1, характеризующаяся тем, что футеровочный материал, расположенный внутри цилиндрической реакционной камеры, выполнен в виде колец. ! 3. Установка по п.1, характеризующаяся тем, что в качестве системы очистки полученного материала от микропримесей использована печь отгонки солей, герметично соединенная с перчаточным боксом. |