压电基体微固体模态谐振式爆炸物探测器

摘要

本发明公开一种压电基体微固体模态谐振式爆炸物探测器，其中：压电基体上下表面的左右两侧分布有驱动电极和参考电极、加热电阻、绝缘层和吸附膜，这些部分在压电基体上下表面的左右两侧完全对称，在吸附膜的左右两侧布置驱动电极和参考电极，吸附膜表面有一层加热电阻，该加热电阻与具有吸附膜的压电基体表面之间有一层绝缘层。本发明利用压电驱动激励微压电固体在特殊的振动模态下运动，并在参考电极上对谐振频率进行跟踪测量。所需的激励电压低，谐振频率可达到几十兆甚至几百兆赫兹，具有很高的刚度，抗冲击、抗振动性能好，并利用它的特殊体声波谐振模态工作，在常压下具有较高的品质因数，不需真空封装，可获得较高的灵敏度。

主权项

一种压电基体微固体模态谐振式爆炸物探测器，其特征在于包括压电基体、驱动电极、参考电极、加热电阻、绝缘层和爆炸物选择性吸附膜，其中：压电基体采用微压电固体结构，压电基体上下表面的左右两侧分布有驱动电极和参考电极、加热电阻、绝缘层和吸附膜，这些部分在压电基体上下表面的左右两侧完全对称，在所述吸附膜的左右两侧分别布置一个驱动电极、一个参考电极，所述吸附膜一个表面连接压电基体，另一表面设有一层加热电阻，该加热电阻与具有吸附膜的压电基体表面之间有一层绝缘层。