液体存储装置

摘要

本实用新型公开了一种液体存储装置，涉及集成电路制造技术领域，该装置包括：储液罐、进液管路、出液管路及排气管路，所述进液管路、出液管路和排气管路均连接所述储液罐，其特征在于，还包括与所述储液罐连接的紧急进气管路，所述紧急进气管路包括：差压式机械装置及储气罐，所述差压式机械装置一端连接所述储液罐，另一端连接所述储气罐，用于根据所述储气罐和储液罐之间的气压差大小自动连通或关断所述储气罐和储液罐之间的连接。本实用新型通过紧急进气管路的设计来代替液封槽，且紧急进气管路能够给储液罐中快速补充保护性气体，避免了储液罐中的化学液被破坏，还保证了化学液顺利地流出。

主权项

一种液体存储装置，包括：储液罐、进液管路、出液管路及排气管路，所述进液管路、出液管路和排气管路均连接所述储液罐，其特征在于，还包括与所述储液罐连接的紧急进气管路，所述紧急进气管路包括：差压式机械装置及储气罐，所述差压式机械装置一端连接所述储液罐，另一端连接所述储气罐，用于根据所述储气罐和储液罐之间的气压差自动连通或关断所述储气罐和储液罐之间的连接。