发明名称 |
用激光刻蚀形成石墨烯图案的方法 |
摘要 |
一种用激光刻蚀形成石墨烯图案的方法,它属于电子触摸屏的生产技术领域,其特征在于它包括如下的步骤:A:使用普通电脑将所需要的导电膜图形绘制成Auto-CAD文档格式;B:将已经绘制好的Auto-CAD文档格式的导电膜图形输入光纤激光打标机,把有涂有石墨烯的玻璃放在光纤激光打标机的载台上;C:设定光纤激光打标机的打标参数:激光输出功率为:10-20w;激光扫描速度为:100-1000mm/min;被刻蚀后形成的石墨烯线条图形,线条图形间距10-100μm。使用本发明刻蚀形成的石墨烯图案保持了图案高精度;由于减少了现有技术中的黄光制程,不仅减少的产品周期,提升产量,而且节约了材料,减少了环境污染,同时因为工序少从而提高了良率。 |
申请公布号 |
CN102501701A |
申请公布日期 |
2012.06.20 |
申请号 |
CN201110375846.X |
申请日期 |
2011.11.23 |
申请人 |
深圳力合光电传感技术有限公司 |
发明人 |
陈凯;黄海东;黄受林;刘锡钢 |
分类号 |
B44C1/22(2006.01)I;B41J3/407(2006.01)I |
主分类号 |
B44C1/22(2006.01)I |
代理机构 |
深圳市中知专利商标代理有限公司 44101 |
代理人 |
吕晓蕾 |
主权项 |
一种用激光刻蚀形成石墨烯图案的方法,其特征在于它包括如下的步骤:A:使用普通电脑将所需要的导电膜图形绘制成Auto‑CAD文档格式;B:将已经绘制好的Auto‑CAD文档格式的导电膜图形输入光纤激光打标机;把有涂有石墨烯的玻璃放在光纤激光打标机的载台上;C:设定光纤激光打标机的打标参数:激光输出功率为:10‑20w,激光扫描速度为:100‑1000mm/min,被刻蚀后形成的石墨烯线条图形,线条图形间距10‑100μm。 |
地址 |
518106 广东省深圳市宝安区公明镇长圳村第四工业区19、20座 |