基于微扫描的像质检测用哈特曼波前传感器

摘要

本发明属于光学检测领域，涉及一种哈特曼传感器。该装置由光路缩束系统、微扫描装置、微透镜阵列、CCD探测器、数字图像处理器以及波前处理机组成。将微扫描装置放置于平行光管与微透镜阵列之间，经过微扫描，由CCD采集到被测波前4帧图像，经过数字图像处理器重建成单帧图像，再由波前处理机进行质心计算及波前重构。本发明可提高哈特曼传感器的像质检测精度，扩大哈特曼传感器的使用范围。

主权项

基于微扫描的像质检测用哈特曼波前传感器，包括光路缩束系统，微扫描装置以及相应的数字图像处理器，微透镜阵列，CCD探测器以及波前处理机；其特征在于在缩束系统之后微透镜阵列之前放置微扫描装置。