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发明名称
摘要
申请公布号 JP4955848(B2) 申请公布日期 2012.06.20
申请号 JP20000052513 申请日期 2000.02.28
申请人 发明人
分类号 C23C16/30;H01L21/31;H01L21/28;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/3205;H01L21/336;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/532;H01L29/786 主分类号 C23C16/30
代理机构 代理人
主权项
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