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Procedimiento para el tratamiento de superficies de piezas de trabajo (3), en el que las superficies de las piezasde trabajo (3) se someten a un tratamiento con un líquido de tratamiento que contiene agua, y en el que se seca ellíquido de tratamiento adherido a las superficies de la pieza de trabajo (3),caracterizado porque el líquido de tratamiento se retira primeramente de la superficie de las piezas de trabajo (3)por soplado de estas piezas de trabajo (3) hasta que queden cantidades residuales en forma de gotas, y acontinuación se retiran con microondas las cantidades restantes en forma de gotas, de modo que el líquido detratamiento, en particular el agua, sea retirado sin dejar residuos.
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