| 发明名称 |
MULTILAYER FILM REFLECTION MIRROR, PRODUCTION METHOD FOR MULTILAYER FILM REFLECTION MIRROR, AND EXPOSURE SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
HK1099603(A1) |
申请公布日期 |
2012.06.15 |
| 申请号 |
HK20060114243 |
申请日期 |
2006.12.28 |
| 申请人 |
NIKON CORPORATION |
发明人 |
KANDAKA, NORIAKI;MURAKAMI, KATSUHIKO;KOMIYA, TAKAHARU;SHIRAISHI, MASAYUKI |
| 分类号 |
G02B;G02B5/08;G02B5/26;G02B5/28;G03F;G03F7/20;G21K;G21K1/06;H01L;H01L21/027 |
主分类号 |
G02B |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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