METHOD AND APPARATUS FOR COOLING SUBJECT TO BE PROCESSED, AND COMPUTER-READABLE STORAGE MEDIUM,申请号KR20127007962-传众专利搜索

发明名称	METHOD AND APPARATUS FOR COOLING SUBJECT TO BE PROCESSED, AND COMPUTER-READABLE STORAGE MEDIUM
摘要
申请公布号	KR20120062842(A)	申请公布日期	2012.06.14
申请号	KR20127007962	申请日期	2010.09.09
申请人	TOKYO ELECTRON LIMITED	发明人	ABE TOMOHIRO;SUGIMOTO TAKAO;SASAKI YOSHIAKI;ITOMI HAYATO
分类号	H01L21/205;H01L21/3065	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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