发明名称 THIN FILM TRANSISTOR (TFT) HAVING COPPER ELECTRODES
摘要 A TFT structure is provided in which an oxidic semiconductor is used in combination with an electrode material based on a Cu alloy.
申请公布号 US2012146018(A1) 申请公布日期 2012.06.14
申请号 US201013390388 申请日期 2010.08.25
申请人 SCHNEIDER-BETZ SABINE;SCHLOTT MARTIN;HERAEUS MATERIALS TECHNOLOGY GMBH & CO. KG 发明人 SCHNEIDER-BETZ SABINE;SCHLOTT MARTIN
分类号 H01L29/786 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人
主权项
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