发明名称 Halbleitervorrichtung, Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung, und Anzeigevorrichtung
摘要 Eine Halbleitervorrichtung weist eine Gate-Elektrode, die auf einem Substrat vorgesehen ist und Al oder eine Al-Legierung enthält, einen Gate-Isolierfilm, der so ausgebildet ist, dass er wenigstens die obere Fläche der Gate-Elektrode bedeckt und einen anodischen Oxidfilm enthält, der durch Anodisierung des Al oder der Al-Legierung der Gate-Elektrode erhalten wird; und eine Isolatorschicht auf, die so auf dem Substrat ausgebildet ist, dass sie die Gate-Elektrode umschließt, und eine Dicke hat, die im Wesentlichen gleich einem Gesamtwert der Dicke der Gate-Elektrode und der Dicke des Gate-Isolierfilms ist, der auf der oberen Fläche der Gate-Elektrode ausgebildet ist.
申请公布号 DE112010003143(T5) 申请公布日期 2012.06.14
申请号 DE20101103143T 申请日期 2010.07.26
申请人 NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION TOHOKU UNIVERSITY 发明人 OHMI, TADAHIRO
分类号 H01L21/336;G02F1/1368;H01L21/28;H01L21/283;H01L21/312;H01L21/316;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/786 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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