METHOD AND ARRANGEMENT FOR DETERMINING THE REFRACTIVE INDEX GRADIENT OF A MATERIAL

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Anordnung zur Bestimmung des Brechzahlgradienten einer Probe (1) eines Materials an dessen Oberfläche (2) unter Zugrundelegung des Reflexionsverhaltens dieses Materials. Dabei wird ein Bündel von Lichtstrahlen (7) einer Lichtquelle (8) fokussiert und durch ein optisch transparentes Medium, welches eine höhere Brechzahl als das Material der Probe aufweist, hindurch auf eine Position (10) an der Oberfläche (2) der Probe (1) fokussiert. Das optisch transparente Medium ist zwischen Probe (1) und Lichtquelle (8) angeordnet. Der Einfallswinkelbereich der fokussierten Lichtstrahlen (7) enthält den Grenzwinkel der Totalreflexion. Totalreflektierte Lichtstrahlen (7) werden in einem Ausfallswinkelbereich nach Durchtritt durch das optisch transparente Medium ortsaufgelöst als Intensitätsprofil mit einer Detektierungseinrichtung detektiert. Anhand des Intensitätsprofils wird der Brechungsindex des Materials an der Position der Oberfläche (2) ermittelt. Anschließend wird die Position, auf die das Bündel von Lichtstrahlen fokussiert wird, variiert. Anhand der für die einzelnen Positionen bestimmten Brechungsindizes wird dann mittels einer Ansteuer- und Auswerteeinrichtung ein Brechzahlgradient bestimmt.