| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Energiefiltervorrichtung (1, 23) für Teilchenstrahlung (3) geladener Teilchen (3), die zumindest eine Fokussierungseinrichtung (12, 20, 27, 28, 29), sowie zumindest eine Strahlungsseparationsvorrichtung (15, 17, 25, 30, 37) aufweist. Die zumindest eine Fokussierungseinrichtung (12, 20, 27, 28, 29) ist dabei als energieabhängige Fokussierungseinrichtung (12, 20, 27, 28, 29) ausgebildet.</p> |
