硅烷分解法多晶硅制备设备

摘要

本实用新型涉及一种多晶硅制备设备，具体地说，涉及一种利用硅烷的热分解反应制取多晶硅制备设备，本实用新型为克服硅烷法制备多晶硅存在的缺陷，提供了一种安全系数高、产能高的硅烷分解法多晶硅制备设备，本实用新型其包括主反应室、气源单元、控制单元、电源单元、打压单元、真空单元，气源单元、控制单元、电源单元、打压单元、真空单元都和主反应室连接，气源单元和储存罐连接，本实用新型由于采用上述结构，保证了硅烷分解这一危险化学反应稳定运行，控制效果良好，提高了整个生产流程的安全性和高效性。操作人员通过组态王界面，细致了解热分解炉运作状况，减少事故发生率，最终实现了系统安全高效、节能降耗的目标。

主权项

一种硅烷分解法多晶硅制备设备，其特征在于，其包括主反应室、气源单元、控制单元、电源单元、打压单元、真空单元，气源单元、控制单元、电源单元、打压单元、真空单元都和主反应室连接，气源单元和储存罐连接。