OLED蒸镀机的蒸发源装置

摘要

本发明涉及一种OLED蒸镀机的蒸发源装置，包括工作平台、坩埚组件、蒸发源挡板组件，所述工作平台的具有工作通孔，至少一组坩埚组件和蒸发源挡板组件在工作通孔内按照圆周均匀排列，其特征在于，还包括坩埚疏通组件，所述坩埚疏通组件位于工作通孔的中心，包括探针、挂臂和升降构件，所述探针通过挂臂与升降构件固定连接，并可以随升降构件垂直运动和沿工作通孔中心旋转。本发明的有益效果是：可以自动的对排列在工作通孔四周的坩埚组件堵塞的蒸镀材料进行疏通，因此保持了生产的连贯性和效率，也避免了人工疏通过程中对OLED显示器件品质的影响。

主权项

一种OLED蒸镀机的蒸发源装置，包括工作平台、坩埚组件、蒸发源挡板组件，所述工作平台的中央具有工作通孔，至少一组坩埚组件和蒸发源挡板组件在工作通孔内按照圆周均匀排列，其特征在于，还包括坩埚疏通组件，所述坩埚疏通组件位于工作通孔的中心，包括探针、挂臂和升降构件，所述探针通过挂臂与升降构件固定连接，并可以随升降构件垂直运动和沿工作通孔中心旋转；所述升降构件包括升降轴、定位齿轮、电机齿轮和固定盘，所述升降轴的外侧具有凸缘，所述固定盘和定位齿轮具有与升降轴截面匹配的通孔，所述升降轴安装在固定盘和定位齿轮的通孔内，所述定位齿轮与电机齿轮啮合，所述电机齿轮与装置外部的伺服电机连接并可在伺服电机的带动下旋转，所述升降轴与装置外部的气缸连接并可在气缸的带动下垂直运动。