气体分配器和包括气体分配器的设备

摘要

一种用于一等离子设备的气体分配器，其包括：一具有复数个注入孔的机体，所述机体相对于一中心表面被划分成一下部部分和一上部部分；和一连接到所述下部部分的机体支撑单元，其中所述中心部分是从所述机体的质量中心水平地延伸出的，其中所述机体支撑单元连接至所述机体的位于所述中心部分以下的所述下部部分。

主权项

一种用于一等离子设备的气体分配器，其包含：一具有复数个注入孔的机体，所述机体相对于一质量中心表面被划分成一下部部分和一上部部分；一连接到所述下部部分的机体支撑单元；和一连接至所述机体和所述机体支撑单元、用于减缓所述机体的热应力的减缓单元；其中所述机体支撑单元连接至所述机体的位于所述质量中心表面之下的所述下部部分；其中所述机体支撑单元包括一从所述减缓单元延伸出的第一支撑单元和一垂直连接到所述第一支撑单元的第二支撑单元，以及一垂直连接到所述第二支撑单元并平行于所述第一支撑单元的第三支撑单元；其中所述减缓单元具有小于所述机体的厚度且大于所述机体支撑单元的厚度的厚度；且其中所述质量中心表面为横截面中连接所述机体的垂直质量中心的表面。