发明名称 |
Process for predetermined doping of highly pure substances |
摘要 |
|
申请公布号 |
US3211654(A) |
申请公布日期 |
1965.10.12 |
申请号 |
US19610161126 |
申请日期 |
1961.12.21 |
申请人 |
WACKER-CHEMIE G.M.B.H. |
发明人 |
JACOB HERBERT;NICKL JULIUS |
分类号 |
C30B13/10;C30B15/20;H01L21/00 |
主分类号 |
C30B13/10 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|