发明名称 Process for predetermined doping of highly pure substances
摘要
申请公布号 US3211654(A) 申请公布日期 1965.10.12
申请号 US19610161126 申请日期 1961.12.21
申请人 WACKER-CHEMIE G.M.B.H. 发明人 JACOB HERBERT;NICKL JULIUS
分类号 C30B13/10;C30B15/20;H01L21/00 主分类号 C30B13/10
代理机构 代理人
主权项
地址