UVM制程中取放片方法及用于实施该方法的取片组合装置

摘要

本发明提供一种UVM制程中取放片方法及用于实施该方法的取片组合装置，该UVM制程中取放片方法，包括如下步骤：步骤1、提供液晶面板、机台、取片装置、及真空吸附装置；步骤2、将取片装置与真空吸附装置固定连接；步骤3、移动取片装置使真空吸附装置接触液晶面板表面；步骤4、真空吸附装置吸附于液晶面板上；步骤5、移动取片装置使真空吸附装置吸起液晶面板，并送达机台；步骤6、真空吸附装置释放液晶面板；步骤7、移动取片装置使真空吸附装置离开液晶面板以将液晶面板放在机台上。该取片组合装置包括取片装置及安装于取片装置上的真空吸附装置。

主权项

一种UVM制程中取放片方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1、提供液晶面板、机台、取片装置、及真空吸附装置；步骤2、将取片装置与真空吸附装置固定连接；步骤3、移动取片装置使真空吸附装置接触液晶面板表面；步骤4、真空吸附装置吸附于液晶面板上；步骤5、移动取片装置使真空吸附装置吸起液晶面板，并送达机台；步骤6、真空吸附装置释放液晶面板；步骤7、移动取片装置使真空吸附装置离开液晶面板以将液晶面板放在机台上。