高效大型多晶硅还原炉

摘要

本发明公开了一种高效大型多晶硅还原炉，它包括底盘和罩在所述底盘上的钟罩式炉筒，所述底盘上密集地设有多对电极、至少一个进气口和至少一个排气口，其特征在于所述电极的对数为2n(n+1)对，其中，n为电极分布的层数，且n≥4，所述2n(n+1)对电极分为n层排列，每层按4对、8对、12对、…、4n对工整排列。该反应器实现了更密集且工整的电极排布，提高了还原炉内热能利用率，实现了更均匀的流场分布，从而提高了每炉的多晶硅产量、改善了产品表面质量，并降低了能耗。

主权项

一种高效大型多晶硅还原炉，它包括底盘和罩在所述底盘上的钟罩式炉筒，所述底盘上密集地设有多对电极、至少一个进气口和至少一个排气口，其特征在于所述电极的总对数为2n(n+1)对，其中，n为电极分布的层数，取正整数且n≥4，所述2n(n+1)对电极分为n层排列，每层按4对、8对、12对、...、4n对工整排列；其中，n＝4，5或6；所述n层电极在底盘上按同心圆分层排布；所述n层电极相邻两层之间间距相等；同一层电极内相邻两个电极之间距离相等。