化学放大型正性抗蚀剂组合物

摘要

一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，其包含(A)树脂和(B)至少一种酸生成剂，所述的(A)树脂包含：(i)由式(I)表示的聚合单元，其中R7表示氢原子等，R8表示C1-C4烷基，p表示1至3的整数，q表示0至2的整数；(ii)选自由式(II)表示的聚合单元和由式(IV)表示的聚合单元中的至少一种聚合单元，在式(II)中，R1表示氢原子等，R2表示C1-C8烷基，并且环X表示脂环烃基，在式(IV)中，R3表示氢原子等，R4和R5独立地表示氢原子等，R10表示C1-C6烷基等；以及(iii)由式(III)表示的聚合单元，其中R3、R4和R5与上述定义相同，E表示二价烃基，G表示单键等，Z表示羰基等，并且L表示蒽基等。

主权项

1.一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，其包含：(A1)树脂，其包含(iv)由式(I)表示的聚合单元和(v)选自由式(IIa)表示的聚合单元中的至少一种聚合单元；(A2)树脂，其包含(Vi)由式(I)表示的聚合单元和(vii)由式(III)表示的聚合单元；以及(B’)至少一种酸生成剂，式(I)中，R⁷表示氢原子或C1-C4烷基，R⁸表示C1-C4烷基，p表示1，q表示0，式(IIa)中，R¹表示氢原子或甲基，并且R⁹表示C1-C8烷基，式(III)中R³表示氢原子或C1-C4烷基，R⁴和R⁵独立地表示氢原子或C1-C4烷基，E表示可以具有至少一个环亚烷基的C1-C8亚烷基，G表示单键，Z表示羰基，并且L表示可以被至少一个C1-C6烷氧基取代的蒽基、或可以被至少一个C1-C6烷氧基取代的菲基。