用于感应电子束的传感器和系统

摘要

本发明涉及传感器(10)，用于感应由电子束发生器沿对象区域内朝向对象的路径发射的电子束强度，该电子束通过逸出窗(24)逸出该发生器。该传感器(10)特征在于其包括位于该路径内的并且连接到电流检测器的至少一个导电层(28)的至少一个区域(26)，以及其中至少一个导电层(28)的每个所述区域(26)通过防护罩(32)基本上与彼此、与周围环境和与该逸出窗(24)隔开，所述防护罩(32)形成在该逸出窗(24)上。本发明还涉及包括所述传感器的系统。

主权项

一种传感器(10，10′)，用于感应由电子束发生器(8，8″)沿对象区域(4，4″)内朝向对象(16，16″)的路径产生的电子束(6，6″)的强度，该电子束(6，6″)通过逸 出窗(24，24′，24″)逸出该发生器(8，8″)，其特征在于该传感器(10，10′)包括位于该路径内并连接到电流检测器(34)的至少一个导电层(28，28′)的至少一个区域(26，26′)，该至少一个导电层(28，28′)的每个所述区域(26，26′)通过防护罩(32，32′)与周围环境和与该逸出窗隔开，并且在位于所述路径内的所述区域(26，26′)多于一个时通过所述防护罩(32，32′)与彼此隔开，所述防护罩(32，32′)形成在该逸出窗(24，24′，24″)上并因此是该逸出窗的集成部分，并且至少所述防护罩的与每个所述区域(26，26′)接触的部分由绝缘材料制成。