一种溅射用铌管状靶材的制备方法

摘要

本发明公开了一种溅射用铌管状靶材的制备方法，该方法为：一、将扒皮后的直径为Φ180mm～Φ300mm的铌锭打孔去除芯部，得到铌管坯；二、采用包套材料将铌管坯包覆密封后加热至900℃～1100℃，并保温1h～2h，将保温后的包覆有包套材料的铌管坯在挤压比为5～9的条件下挤压，得到铌管靶；三、对铌管靶校直后进行酸洗，然后对酸洗后的铌管靶进行真空热处理；四、将经真空热处理后的铌管靶机械加工，去除包套材料，机加工平头，然后对管靶内、外表面进行抛光处理，得到溅射用铌管状靶材。本发明工艺流程简单，生产效率高，可以用于各种规格及壁厚的铌管状靶材的生产，同时也适应于其它难熔金属管状靶材的生产。

主权项

一种溅射用铌管状靶材的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤一、将扒皮后的直径为Φ180mm～Φ300mm的铌锭打孔后线切割去除芯部，得到铌管坯；步骤二、采用包套材料将步骤一中所述铌管坯内、外壁及两头紧密包覆，焊接密封，然后将包覆后的铌管坯加热至900℃～1100℃，并保温1h～2h，将保温后的包覆有包套材料的铌管坯在挤压比为5～9的条件下挤压，得到铌管靶；步骤三、对步骤二中所述铌管靶校直后进行酸洗，然后对酸洗后的铌管靶进行真空热处理；所述真空热处理的制度为：热处理温度为800℃～980℃，保温时间为1h～2h，真空度不大于1×10‑2Pa；步骤四、将步骤三中经真空热处理后的铌管靶机械加工，去除包套材料，机加工平头，然后对管靶内、外表面进行抛光处理，得到溅射用铌管状靶材。