发明名称 光罩、平面显示面板的导线的制作方法以及平面显示面板的导线结构
摘要 本发明提供一种光罩,包括一透光基板、数个遮光图案以及至少一透光区。遮光图案具有至少一透光狭缝,与各遮光图案的边缘平行设置。各遮光图案具有一第一宽度,且第一宽度与两相邻遮光图案间间距的和小于或等于12微米。本发明亦提供一种利用上述光罩制作平面显示面板的导线的制作方法以及一种平面显示面板的导线结构。平面显示面板的导线结构包括数条导线。各导线的宽度与各导线间之间距的和小于或等于12微米。
申请公布号 CN102495524A 申请公布日期 2012.06.13
申请号 CN201110372983.8 申请日期 2011.11.08
申请人 友达光电股份有限公司 发明人 张名豪;游伟盛
分类号 G03F1/38(2012.01)I;H01L27/12(2006.01)I;H01L23/522(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I 主分类号 G03F1/38(2012.01)I
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人 陆勍
主权项 一种光罩,包括:一透光基板;数个遮光图案,设置于该透光基板上,各该遮光图案具有至少一透光狭缝,大体上与各该遮光图案的一边缘平行设置;以及至少一透光区,位于两相邻的所述遮光图案之间;其中两相邻的所述遮光图案具有一间距,各该遮光图案具有一第一宽度,且该第一宽度与相邻的该遮光图案间的该间距的和大体上小于或等于12微米。
地址 中国台湾新竹科学工业园区新竹市力行二路一号