放射线敏感性树脂组合物、抗蚀图案形成方法、聚合物和聚合性化合物

摘要

一种放射线敏感性树脂组合物，其特征在于，含有具有酸解离性基团的聚合物(A)、由放射线照射而产生酸的产酸剂(B)、以及具有下述通式(x)表示的官能团和氟原子的聚合物(C)，上述聚合物(C)是氟原子含量比上述聚合物(A)高的聚合物。[通式(x)中，R1表示碱解离性基团，A表示氧原子(其中，不包括直接与芳香环、羰基和磺酰基连结的氧原子)、亚氨基、-CO-O-*或者-SO2-O-*(“*”表示与R1结合的结合位点)。]——A——R1(x)。

主权项

一种放射线敏感性树脂组合物，其特征在于，含有：具有酸解离性基团的聚合物(A)、通过放射线照射而产生酸的产酸剂(B)、以及具有下述通式(x)表示的官能团和氟原子的聚合物(C)，所述聚合物(C)为氟原子含有比例比所述聚合物(A)高的聚合物；——A——R1(x)通式(x)中，R1表示碱解离性基团；A表示氧原子，其中，不包括直接与芳香环、羰基和磺酰基连结的氧原子；‑NR’‑，其中，R’表示氢原子或碱解离性基团；‑CO‑O‑*或者‑SO2‑O‑*，“*”表示与R1结合的结合位点。