无极准分子灯的配气系统和配气方法

摘要

本发明公开一种微波无极准分子灯的配气系统和配气方法，无极准分子灯的配气系统在真空泵前还设置一冷井，与第二三通阀的第三端口相连的管道上并联连接有洗气瓶，储气瓶，压力指示计，缓冲瓶和充气管道，真空配气系统能根据处理废水具体所需的紫外波长填充不同的气体使之激发出强度高、光效高的紫外光，并且由于本发明的真空配气系统在充气前真空度高，所填充的气体纯度又非常高，因此所得到的无极准分子灯不仅发光强度高、光效高，且灯的寿命长，使用寿命可达1万小时以上。

主权项

一种无极准分子灯的配气系统，包括真空泵（21）、三通阀（23）、扩散泵（24）、洗气瓶（25）、储气瓶（27）、压力指示计（28）、充气管（29）、排气口、缓冲瓶（31）和各部分进行连接的相应的管道、阀门或活塞；其特征在于：还包括一设置在真空泵（21）和三通阀（23）之间的冷井（22），也即真空泵（21）前还设置一冷井（22）；三通阀（23）包括第一三通阀（23‑1）和第二三通阀（23‑2），按照气体的运动顺序，真空泵（21）的抽气口经液氮冷井（22）与第一三通阀（23‑1）的第一端口相连；第一三通阀（23‑1）的第三端口经管道与第二三通阀（23‑2）的第一端口相连；第二三通阀（23‑2）的第二端口经管道与扩散泵（24）的第一抽气口相连；扩散泵（24）的第二抽气口经管道与第一三通阀（23‑1）的第二端口相连；第二三通阀（23‑2）的第三端口通过第六管道（46）分别与洗气瓶（25），储气瓶（27），压力指示计（28），缓冲瓶（31）以及充气管道（47）相连；第六管道（46）远离第二三通阀（23‑2）的端口未被封闭，该端口设置一个排气阀门（30）作为排气口。